機器人和設計的SCARA機器人使用單/雙臂和1或2個刀片快速精確地傳輸300mm晶圓(12英寸)。它占地面積小,可以在很寬的運動范圍內有效利用空間,因此無需橫向軸即可訪問 2 個端口(修改臂時可以使用 3 個端口)。它可以根據要求定制(長 SCARA 是可定制的)。