半導體晶圓廠晶圓載具(FOUP,FOSB,POD,RETICLE POD, FRAME CASSETTE)地面自動傳送設備
協作式機器人用于半導體潔凈室內區域間各生產設備站點與存儲設備間晶圓載具的傳送,適合使用在人工搬運且重復性高的區域。使用協作式機器人可重新布局工作環境,實現區域自動化——物料自動搬運、自動上下料等功能,減少操作工數量,降低人力成本,減少環境污染,提高產品良率。