Multi Lane Loader、Metrology 和 Cell Diverter 的模塊化結(jié)構(gòu)使 Load Cell Line 能夠最佳地適應(yīng)吞吐量、車道數(shù)量和空間要求方面的要求。對(duì)于后續(xù)的電池工藝,晶圓要么從一個(gè)或兩個(gè)進(jìn)料通道轉(zhuǎn)移到 10 個(gè)通道,要么從一個(gè)通道轉(zhuǎn)移到五個(gè)通道。
根據(jù)更高的質(zhì)量控制要求,可以選擇性地?cái)U(kuò)展檢測(cè)系統(tǒng)(孔和裂紋檢測(cè)、表面測(cè)量、使用壽命和電阻測(cè)量)。