主要應用于平板顯示行業TFT電子線路的斷路/短路檢測。設備采用非接觸式檢測原理對玻璃基板進行高速檢測,在節省探針等消耗品的同時,大幅降低了對待檢玻璃基板造成的劃傷。可對應產品電子線路寬度達2微米,相鄰電子線路最小間距達28微米,平均檢出率高達99%以上,可應用于G8.5或更高世代產線的TFT基板。