潔凈搬運機器人(Clean Transfer Robot)
主要應用于平板顯示及半導體生產線的玻璃基板或硅片的搬送。設備采用結構模塊化設計,欣奕華在國內率先實現振動抑制,先進控制,潔凈機構設計等技術的突破,使產品的潔凈度控制、 高速運動、定位精度、可搬運產品尺寸及重量等領域均達到了國際先進水平。