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川崎無塵機器人 NT系列

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川崎無塵機器人 NT系列

  • 品牌:Kawasaki(川崎)
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  • 有效期至:長期有效
  • 更新時間:2016-05-19 10:31
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  高性能專用搬運機器人

  用于半導體和電子行業

  川崎提供了業界領先的全系列半導體和電子搬運機器人。這些機器人是專為在無塵室中應用而制造的,包括ISO 1級。速度、準確度以及伸展范圍使這些機器人適合搬運精密的半導體晶圓、LCD面板、有機EL,以及太陽能電池板。

  NT系列無塵機器人

  用于半導體、有機EL、LCD面板、太陽能面板。長伸展距離水平手臂。

  NT系列無塵機器人設計的目的是讓一個機器人可以伸展開來管護多達四個FOUP而不必使用線性軸。NT系列采用下一代設計,以400晶片每小時(WPH)的速率來搬運300mm或450mm晶圓,而沒有使用校準器。

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