灰塵、花粉、懸浮物、氣溶膠……在1m3的空氣中可以測量到多達1000萬個異物顆粒。而在半導體生產中，高度潔凈的環境對產品的質量和性能至關重要，每一個微粒都可能損害微芯片的功能。

根據 ISO 潔凈室等級，半導體生產環境中每立方米空氣中記錄的顆粒尺寸僅為 20-30 μm。

史陶比爾在半導體行業擁有長久的歷史, 積累了大量的潔凈室相關經驗，深知潔凈度對半導體行業的重要性：

用于生產半導體的設備本身也必須在潔凈室條件下制造。

例如，完整的光刻機系統的重量可能超過100噸，因此還必須保證所有系統組件在裝配過程中可以潔凈地進行運輸。

史陶比爾 WFT 與兩家知名半導體生產設備制造商合作，為其定制潔凈版重載AGV，用于在潔凈室里搬運重達24 噸的光刻機設備部件。

融入潔凈室生產環境

與傳統應用場景不同，在半導體設備生產的潔凈室環境中引入AGV，與流程的連續性和自動化無關。

引入AGV 的目的在于限制設備與人員的接觸，降低潛在污染源。

由于AGV不會離開生產區域，因此它也不會引入其他細小顆粒。而起重機會存在掉落磨損碎片的風險，所以重型設備及其組件都必須沿著地面來進行運輸。

在為兩家知名半導體生產設備制造商定制潔凈版AGV的過程中，史陶比爾WFT積累了大量經驗，大到外殼材料，小到電纜護套必須經過退火或涂層覆蓋的表面處理等工藝。

獨立潔凈室生產車間內，裝配人員經過專業訓練，穿著潔凈室服裝并使用潔凈室兼容的工具進行裝配。

開辟潔凈室AGV專用生產區

為了滿足半導體行業的嚴格需求，史陶比爾WFT為其 AGV 建立了專用的潔凈室生產基地。清潔的 AGV 部件、受控氣流和特定的潔凈室服裝是構建潔凈室AGV內部流程的一部分。

想在潔凈室引入AGV的客戶向我們提供了非常全面的清潔度規范。許多所需的材料已經過測試，此外，一些材料（通常是塑料）未在規范中列出，我們會對其進行廣泛的測試。——史陶比爾 WFT 項目經理 Fabian Forster

這些測試包括在產品生命周期內的釋氣性以及在AGV運行過程中可能引起的磨損，每個測試都會被詳細記錄，從而最大限度降低顆粒物的排放。

成熟可靠的AGV產品

事實證明，史陶比爾WFT 成熟的AGV產品為客戶在潔凈室內實現昂貴部件搬運提供了可靠保障：

史陶比爾WFT AGV最高有效負載可達450噸，產品融合了獨特的全向驅動專利技術，可提供差速運動、全向運動兩種不同移動方式，在狹小拐角獨具優勢。

機身緊湊實用，采用可擴展的模塊化設計，易于維護，可根據不同的應用場景及客戶需求更改配置。

史陶比爾集團是工業連接器、工業機器人和紡織機械這三大領域機電一體化解決方案的全球專業供應商。作為一個跨國集團公司，史陶比爾在29個國家/地區設立分公司，代理商遍及四大洲50個國家/地區。我們全球5500多名員工都致力于與幾乎是所有行業的客戶通力合作，以提供全面的解決方案和長期的支持。1892年，史陶比爾在蘇黎世湖畔創辦，最初只是一個家庭作坊，如今已發展成一家總部位于瑞士法菲孔(Pf?ffikon)的跨國集團。