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復合機器人如何助力半導體晶圓智造?

2022-09-14 09:28 性質:轉載 作者:斯坦德機器人 來源:斯坦德機器人
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國內某知名半導體晶圓制造企業自2020年開始在多個廠區累計投入近50臺斯坦德潛伏式和復合式AMR,實現了整廠生產物流自動搬運及智能化管理,使整個生產智能化程度邁上一個新臺階。在該企業的晶圓制造...

國內某知名半導體晶圓制造企業自2020年開始在多個廠區累計投入近50臺斯坦德潛伏式和復合式AMR,實現了整廠生產物流自動搬運及智能化管理,使整個生產智能化程度邁上一個新臺階。

在該企業的晶圓制造車間,斯坦德根據車間不同機臺的上下料對接、搬運頻次、晶圓特性,針對性地規劃了以復合機器人搬運晶圓盒上下料、E-Rack庫位管理、RIoT智能調度為核心的柔性物流解決方案

本項目覆蓋整個晶圓制造車間,涉及待加工物料與E-Rack對接、晶圓盒在各工序的上下料及工序環節之間的流轉。

01、涉及到7大工序,對接設備機臺多,流程復雜,AMR必須精準配送物料。

02、車間內空間狹窄,人車混行,需要實現安全避障

03、晶圓易碎且貴重,機器人要保障運行平穩、低振。

04、晶圓制造車間潔凈度要求高,AMR需要滿足高潔凈標準。

項目覆蓋氧化擴散、光刻、刻蝕、薄膜沉積、離子注入、清洗與拋光、金屬化七大流程,AMR能高效、準確、靈活地完成晶圓的搬運、轉運及上下料全流程自動化

斯坦德機器人(深圳)有限公司,專注于工業級移動機器人的研發與生產,實現了從機器人底層定位算法、操作系統、控制器等核心元素的自主研發全覆蓋,主要產品為激光導航AGV及其調度系統。

斯坦德機器人(Standard Robots)致力于為優秀的系統集成商及終端制造工廠尋找標準化、可復制的算法應用場景,實現其柔性化、敏捷化的廠內物流需求,為客戶踐行輕資產、回報快的初期物流投入,為行業構建信息化、數據化的物流基礎設施,是全球真正踐行把激光導航AGV應用于華為、中興、富士康等實際工業物流領域的高科技企業。

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