IRB 1300 PECVD硅片裝卸站
IRB 1300標配IP40防護等級。用戶可以選配IP67防護等級,以阻擋固體顆粒和水分浸入;也可以選擇Foundry Plus2版本,這一版本專為鑄造廠和其他金屬加工廠等極端惡劣環境而設計。IRB 1300還可選配IPA潔凈室防護標準。
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